化学組成・結晶構造の迅速イメージング

新しいＸ線顕微鏡

抄録

従来、不均一な試料の化学組成や結晶構造を調べるには、微小Ｘ線ビームによるＸＹ走査が不可欠と考えられていたため、非常に長い測定時間を必要とした。本研究では、走査を必要としない迅速イメージング技術を開発した。