SiイオンとHeイオンを同時照射した液相焼結SiC粒界上のバブル生成挙動

抄録

液相焼結SiCを対象に、核融合環境を模擬したSiイオンとHeイオンの同時照射及び、TEM観察を行った。600℃での照射後に、焼結助剤に起因する酸化物とSiCの粒界の一部に微小なバブル生成が認められた。TEMで解析した粒界構造とHeバブル生成の有無の相関を調べることで、バブル生成挙動を評価する。