エンドツーエンド微分可能探針形状推定法によるAFM画像の鮮明化

抄録

AFM画像の歪みの原因となる探針形状を，ノイズに強い微分可能なアルゴリズムで推定するデータ解析手法を開発した．推定された探針形状で歪みを取り除くことにより，従来法より高精度な画像鮮明化を実現することができた．本手法は，他の構造データとの定量的比較を可能にする解析ツールとして期待される．