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X線CCDカメラによる全視野型蛍光X線定量イメージングに関する基礎的検討
2017 年 66 巻 12 号 p. 901-907
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2017 年 66 巻 12 号 p. 901-907
フォトンカウンティングを用いたラボレベルでの全視野型蛍光X線イメージング装置を試作し，その性能を確認した．エネルギー分解能は142 eV @ Fe Kα，空間分解能は有効ピクセルサイズが2 binのとき52 μm @ Fe Kαとなり，それぞれエネルギー分散型検出器，微小部蛍光X線分析装置と同程度の性能を示した．また，プリント基板試料に対して多元素同時イメージングが可能であることを示した．全視野型XRFイメージング法はいまだに定量法が確立されていないが，Ni標準試料を用いた補正式をXRF強度に適応することでNiの定量化を検討した．X線CCDカメラの各ピクセルの強度から検量線を作成してR2値を評価したところ，その精度は良好だった．統合的な一つの検量線を全ピクセルに適応させることができ，本手法により全視野型蛍光X線イメージング装置において定量イメージングが可能であることが確認できた．
