薄膜微細形状評価を用いたCVDプロセスの反応機構自動解析システムに関する研究

抄録

化学気相堆積法（CVD）によって作製した薄膜の微細形状(nm～μmサイズのトレンチ基板上における膜の段差被覆性、埋め込み特性など)を実験データとして用いて解析し、CVD装置内における成膜反応機構を自動的に究明するシステムを開発した。システムの中核となる推論エンジンは進化論計算に基づくアルゴリズムを用いて開発した。また、計算過程をモデル化することで解析速度を大幅に減少することができた。