実数値遺伝的アルゴリズムを用いたCVDプロセスの反応機構自動解析システムの開発

抄録

我々は、化学気相堆積法（CVD）によって作製した薄膜の微細形状(nm～μmサイズのトレンチ基板上における膜の段差被覆性、埋め込み特性など)を実験データとして用いて解析し、CVD装置内における装置内部における反応モデルを自動的に提案するシステムを開発している。本研究では遺伝的アルゴリズムの分野で最近提案され、高い関数最適化能力を有するREX/JGG法を用いた解析手法の開発を行い、システムに実装した。システムの解析能力は向上し、解析時間は大幅に短縮した。