実数値遺伝的アルゴリズムを用いたCVD装置における成膜速度分布の計算方法

抄録

化学気相堆積法（CVD）の反応機構解析に利用することを目的とした新規なアルゴリズムに基づくシミュレーターの開発を行った。シミュレーターは実数値遺伝的アルゴリズムによって拡散反応方程式を解き、CVD装置内の成膜速度分布を見積もることができる。古典的な遺伝的アルゴリズムを用いた場合と比較して低計算コストで高精度に成膜速度分布を見積もることが可能となった。