REX+JGGを用いたCVDプロセスの反応機構自動解析システムの開発

抄録

我々は、化学気相堆積法（CVD）によって作製した薄膜の微細形状を実験データとして用いて解析し、CVD装置内における装置内部における反応モデルを自動的に提案するシステムを開発している。本研究では遺伝的アルゴリズムの分野で高い関数最適化能力を有するREX+JGG法およびREX^star+JGG法を用いた自動解析手法の開発を行い、システムに実装した。そして、従来の方法と解析精度、計算コストについて比較検討を行った。