バイオインスパイアードアルゴリズムを用いた化学気相堆積プロセスにおける反応機構自動解析システムの開発

抄録

マイクロメーターからナノメーターサイズのトレンチ上に成膜した膜の破断面の形状に関するデータを実験結果として用いて解析を行う反応機構自動モデル化システムの開発を行った。システムの推論エンジンはバイオインスパイアードアルゴリズムを用いて設計された。そして、バイオインスパイアードアルゴリズムがシステムに及ぼす影響について検討した。