抄録
本研究は半導体デバイスの製造に用いるCVD法を対象とする。CVD研究開発過程全体の自動化を目指し、反応モデルの同定を目的とした実験計画を自動的に立案するシステムの開発と評価を行った。従来のシステムではCMA-ESを用いたアルゴリズムを採用していたが、劣解が多く生成され、反応機構の同定に有効でない実験条件候補が多く提案された。そこで、本研究ではSPEA2を用いたアルゴリズムを採用し、劣解群を避けてパレート解群を生成することを試みた。また、得られた解の分類方法として、クラスター数を自動で決定するx-means法を新たに導入し、システムの更なる自動化を目指した。
