抄録
マイクロチャンネルプレート（MCP）の最大検出効率は，開口率とほぼ等しいことが知られている．市販の一般的なMCPでは，機械的強度の制約により開口率は50%〜60%で，検出効率も同程度である．本研究では，検出効率を最大限に向上させる目的で，円筒状細孔の粒子入射側にテーパー加工を施して開口部を大きくすることで開口率を最大で約100%に増大させたMCPを開発した．このMCPについて，イオンビームに対する検出効率を測定した．開口率が約100%のMCPでは，最大検出効率は100%に達し，イオン検出の高効率化のために開口部を大きくする方法として，テーパー加工が有効であることが確かめられた．さらにMgOコーティングを表面に施すことで，より低エネルギーのイオンにおいても検出効率が向上することを見出した．
