静磁場型電子エネルギー分析器の設計指針II 高分解能化に向けた収差補正技術

抄録

静磁場型エネルギー分析器は高速電子のエネルギー分析に適しており，電子顕微鏡や加速器の分野でよく用いられている．以前の記事では静磁場型エネルギー分析器の要となる磁場プリズム（セクター磁石）の設計指針を解説した．本稿では磁場プリズム単独で得られるよりも高エネルギー分解能を達成するための収差補正技術を解説する．まず，一様磁場のモデルで磁場プリズムの幾何収差を解析的に取り扱い，その原因や補正方法を説明する．そして，代表的な収差補正器である磁気多極子について，基礎理論とその使用方法を解説する．最後に，3次元数値計算を用いて，実際の磁場プリズムで生じる幾何収差と，磁気多極子によるその補正の例を示す．