新規シリコーン系フレキシブル光導波路の作製とその基本特性

抄録

一液性でハンドリングが容易であり、低収縮性・高透明性等の特徴をもつ光硬化アデカ ナノハイブリッドシリコーンを用い、直接露光プロセスにより可とう性に富むマルチモードフィルム光導波路を作製した。カットバック法により、伝送波長850nmで0.1dB/cm以下の低損失であることを確認した。短期はんだ耐熱・耐UV、ヒートサイクルや高温高湿試験等の初期信頼性試験を行い、光損失に大きな変動がないことを確認した。