エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集
第24回エレクトロニクス実装学術講演大会
セッションID: 10DP-01
会議情報

第24回エレクトロニクス実装学術講演大会
ネガ型反応現像画像形成法によるアダマンタン骨格含有ポリカーボネートへの微細パターン形成
*安田 宗平高橋 昭雄大山 俊幸山尾 忍
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録
主鎖にアダマンタン骨格を有するポリカーボネートに対しネガ型反応現像画像形成を適用した。現像にはアルカリ水溶液含有現像液を用い、現像条件を最適化することによって高感度でネガ型微細パターンを得ることに成功した。
著者関連情報
© 2010 一般社団法人エレクトロニクス実装学会
前の記事 次の記事
feedback
Top