抄録
近年の電子デバイス製品の高性能化に伴い、クリーンルーム内において化学物質の存在が問題となってきている。そのため構成する建材も低アウトガスであることが望まれているが、その中でもシーリング材は本来の防水用途として以外にも気密性確保のために使用され、その使用量は通常の建物よりも多い。しかし、現在主としてクリーンルームで使用されている１成分形シリコン系シーリング材では、低アウトガスタイプでも微量ながら低分子環状シメキサンの発生が確認されている。また、低アウトガスタイプの１成分形シリコン系ポリウレタン系シーリング材では作業性が一般のシーリング材に劣るといった問題が残っている。このような背景から、低分子環状シロキサンを発生せずに総有機物量を抑制し、一般のシーリング材同等の作業性を有する、低アウトガス形クリーンルーム用として１成分形変性シリコン系シーリング材を開発したので報告を行う。
