<電子物性・デバイス>
ポリマー基板上金属酸化物薄膜：コーティング法と機能設計
2019 年 139 巻 3 号 p. 185-191
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2019 年 139 巻 3 号 p. 185-191
Key factors to achieve functional metal oxide films deposited on flexible polymer-film substrates are discussed. The use of reactive plasma deposition with dc-arc discharge is an effective coating method to grow the metal oxide films with reduced residual stress, leading to the tailored functional films for wide applications.
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