電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）
Online ISSN : 1348-8155
Print ISSN : 0385-4221
ISSN-L : 0385-4221
GaN系電子デバイス作製技術
塩島 謙次
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キーワード: 結晶成長法, プロセス技術
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2002 年 122 巻 1 号 p. 2-5

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