電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
特集解説
Technology Trends in Light Application and Visual Science
Hiroyuki Kamei
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キーワード: terahertz wave, solid-state, high-temperature superconductor, Josephson junction, extreme ultra violet lithography, nano imprint lithography, compact microwave discharge lamp
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2009 年 129 巻 2 号 p. 68-69

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抄録
Three topics in light application and visual science are introduced in this report: Terahertz wave radiation from intrinsic Josephson junctions, recent trends of lithography for semiconductor device fabrication, and compact microwave discharge lamp.
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© 2009 by the Institute of Electrical Engineers of Japan
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