熱アニール多結晶シリコン薄膜トランジスタ

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

熱アニール多結晶シリコン薄膜トランジスタ

小西信武, 宮田健治

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キーワード: 多結晶シリコン, トラップ準位

ジャーナルフリー

1990 年 110 巻 10 号 p. 670-674

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.110.10_670

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