電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
レーザ照射スパッタ多結晶シリコン薄膜トランジスタ
芹川 正, 白井 誠一
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キーワード: 薄膜トランジスタ, スパッタ, 多結晶シリコン膜, ゲートSiO2膜, レーザ照射, 移動度, 結晶粒, ポテンシャル障壁
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1990 年 110 巻 10 号 p. 675-678

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