II. マイクロマシン研究設備の整え方

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

II. マイクロマシン研究設備の整え方

江刺正喜

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キーワード: 研究設備, マイクロマシン, 微細加工, マイクロマシニング技術

ジャーナルフリー

1992 年 112 巻 12 号 p. 962-967

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.112.12_962

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