電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
マイクロマシン研究入門
これからマイクロマシンを手がける人のために I. マイクロマシンの研究テーマとアイディア
藤田 博之
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キーワード: マイクロマシン, 半導体マイクロマシーユング, マイクロ理工学, 潤滑, 材料
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1992 年 112 巻 12 号 p. 958-961

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