電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
ゾル•ゲル法によるITO透明導電膜の作製とその電気的•光学的特性
相田 一英, 吉村 昇
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キーワード: ゾル•ゲル法, Van Der Paur法, 応力
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1996 年 116 巻 7 号 p. 661-662

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