酸素プラズマ中における白金プローブの赤熱現象

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

酸素プラズマ中における白金プローブの赤熱現象

小野茂, 堤井信力

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キーワード: 酸素プラズマ, 白金, 触媒, 静電プローブ

ジャーナルフリー

1996 年 116 巻 7 号 p. 659-660

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.116.7_659

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