電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
KrFエキシマレーザガス寿命の繰り返し周波数依存性
南谷 靖史, 斉藤 善夫, 伊藤 寛, 佐藤 行雄
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キーワード: KrFエキシマレーザ, ガス寿命, 繰り返し周波数, 充電電圧, フッ素濃度
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1997 年 117 巻 11 号 p. 1143-1144

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