強誘電体固定層バリア放電特性に及ぼす比誘電率の影響

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

強誘電体固定層バリア放電特性に及ぼす比誘電率の影響

内村圭一, Jen-Shih Chang

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キーワード: 強誘電体固定層プラズマ反応炉, オゾナイザ, 排ガス処理, 放電特性

ジャーナルフリー

1998 年 118 巻 4 号 p. 426-427

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.118.4_426

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