電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
平板型表面波プロセスプラズマ装置でのマイクロ波電力吸収一様性向上に関する数値解析
森野 達朗, 桂井 誠
著者情報
キーワード: 平板型表面波プロセスプラズマ装置, 電力吸収率, 時間領域差分法, マイクロ波
ジャーナル フリー

2000 年 120 巻 5 号 p. 583-588

詳細
PDFをダウンロード (1906K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 電気学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
発行機関からのお知らせ
  • 【電気学会会員の方】購読している論文誌を無料でご覧いただけます（会員ご本人のみの個人としての利用に限ります）。購読者番号欄にMyページへのログインIDを，パスワード欄に生年月日8ケタ（西暦，半角数字。例：19800303）を入力して下さい。
ダウンロード
  • 論文(PDF)の閲覧方法はこちら
    閲覧方法 (327.9K)
前身誌

電気学会論文誌. A

電氣學會雜誌

関連情報

J-STAGEがリニューアルされました！　　https://www.jstage.jst.go.jp/browse/-char/ja/

関連ジャーナル
電気学会誌
論文誌Ｂ（電力・エネルギー部門誌）
論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）
論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
IEEJ Journal of Industry Applications
論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
このページを共有する
feedback
 Top