電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
技術探索
MEMS技術の変遷と応用
江刺 正喜
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キーワード: MEMS, パッケージング, 集積化, マイクロシステム
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2009 年 129 巻 5 号 p. 307-310

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