電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
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特集:ミニマルファブ —新しい半導体製造プラットフォーム—
総論:ミニマルファブのコンセプトと開発体制
久保内 講一原 史朗
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2015 年 135 巻 8 号 p. 534-537

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抄録

1.半導体産業の実情 1947年にショックレーらによって発明されたトランジスタと,その後のキルビーによる集積回路の発明により,今日の半導体産業の集積度向上は飛躍的に向上してきた。この間約67年の技術進展は目覚ましく,集積度は「18か月 (=1.5年) ごとに倍」となるムーアの法則に代表され

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