電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
高周波プラズマでフロンを分解する
梶家 治
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キーワード: オゾン層破壊, プラズマ, フロン分解, 分解コスト
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1994 年 114 巻 11 号 p. 719-722

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