電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
マイクロマシーニングのセンサへの応用
杉山 進
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キーワード: マイクロマシーニング, センサ, 異方性, 犠牲層エッチング, LIGA
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1997 年 117 巻 12 号 p. 828-831

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