電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
環境に優しい材料としてのDLC薄膜の形成
鈴木 泰雄
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キーワード: DLC, イオン, プラズマ, アーク
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1998 年 118 巻 11 号 p. 684-686

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