電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
超低エネルギードーピング
プラズマドーピング
水野 文二, 高瀬 道彦
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キーワード: プラズマ, ドーピング, MOS, 浅い接合, サブ0.18μm
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1998 年 118 巻 3 号 p. 144-146

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