電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
プラズマ源の開発
節原 裕一
著者情報
キーワード: プラズマ源, シース挙動, 大容積化, 高密度化
ジャーナル フリー

2001 年 121 巻 5 号 p. 308-311

詳細
PDFをダウンロード (2962K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 電気学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
発行機関からのお知らせ
  • 【電気学会会員の方】電気学会誌を無料でご覧いただけます（会員ご本人のみの個人としての利用に限ります）。購読者番号欄にMyページへのログインIDを，パスワード欄に生年月日8ケタ（西暦，半角数字。例：19800303）を入力して下さい。
ダウンロード
  • 記事（PDF）の閲覧方法はこちら

    閲覧方法 (327.9K)
前身誌

電氣學會雜誌

関連情報

J-STAGEがリニューアルされました！https://www.jstage.jst.go.jp/browse/-char/ja/

関連ジャーナル
論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
論文誌Ｂ（電力・エネルギー部門誌）
論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）
論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
IEEJ Journal of Industry Applications
論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
このページを共有する
feedback
 Top