電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
曲がるダイヤモンド様薄膜
滝川 浩史
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キーワード: 真空アーク蒸着, T-FAD, ダイヤモンドライクカーボン, ゴム基板
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2003 年 123 巻 10 号 p. 648-651

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