FEM Analysis of Mechanical Characteristics of Nano Tweezers with MemsOne<sup>TM</sup>

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939

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FEM Analysis of Mechanical Characteristics of Nano Tweezers with MemsOne^TM

Hirofumi Miura, Junji Sone, Dominique Collard, Christophe Yamahata, Hiroyuki Fujita

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キーワード: MEMS, FEM analysis, mechanical characteristics, nano tweezers

ジャーナルフリー

2008 年 128 巻 5 号 p. 252-256

DOI https://doi.org/10.1541/ieejsmas.128.252

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抄録

In this study, we investigate improvements in silicon nanotweezers used to handle DNA molecules. We analyzed the deformation and frequency properties of the nanotweezers by finite element method (FEM) analysis. From this analysis, we determined the appropriate operation area of the nanotweezers.

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© 2008 by the Institute of Electrical Engineers of Japan

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