電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
研究開発レター
2電極静電アクチュエータを用いた高駆動分解能MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ
廣久保 望小松 洋橋元 伸晃曽根原 誠佐藤 敏郎
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133 巻 (2013) 2 号 p. 54-55

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抄録

In this paper, we report a MEMS Fabry-Perot tunable filter with Dual Electrodes Electrostatic Actuator (DEEA) which improves the resolution of the mirror gap positioning. This device improved positioning resolution by changing two actuators of the DEEA and achieved the higher resolution less than 0.1nm by using 12bit driver circuit.

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© 2013 電気学会
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