電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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特集論文
P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサの開発
田中 恒久村上 修一宇野 真由美山下 馨
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2015 年 135 巻 5 号 p. 145-151

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抄録

MEMS ultrasonic sensor was fabricated using the poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene)[P(VDF/TrFE)] copolymer thin films having multilayer diaphragm structures. It was shown that the P(VDF/TrFE) thin film on MEMS ultrasonic sensor exhibit a remanent polarization Pr of 72 mC/m2 and a coercive field Ec of 59 MV/m. The resonant frequency, Q-value and sensitivity of the MEMS ultrasonic sensors are estimated to be on the order of 178 kHz, 24 and 45 µV/Pa, respectively. The P(VDF/TrFE) thin film was shown to be useful for piezoelectric material of MEMS ultrasonic sensor.

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