電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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特集論文
結晶方位分布関数による結晶集合組織のピエゾ抵抗表記
安藤 妙子鳥山 寿之
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2018 年 138 巻 5 号 p. 214-219

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抄録

In this paper we found that three tensor components of piezoresistance were necessary for a crystallite orientation distribution function (CODF) expressing preferential crystallographic orientation of polycrystalline aggregates. A comparison between an experiment of poly-Si and the theoretical analysis showed the validity of our method representing the piezoresistance anisotropy by using CODF.

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