特集研究開発レター
赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定
2021 年 141 巻 7 号 p. 265-266
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2021 年 141 巻 7 号 p. 265-266
The power-saving infrared sensor is attractive for detecting human and environment. A new infrared sensor is fabricated using the electrostatic torsional resonator enabling the electrical measurement. Compared to the previous experiments using the laser Doppler measurement, the possibility for the compact sensor is confirmed.
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