電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film
Osamu TabataToshiyuki Tsuchiya
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1996 年 116 巻 1 号 p. 34-35

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© The Institute of Electrical Engineers of Japan
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