電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術
I. ゾル-ゲル法によるPZT薄膜の合成と評価
平野 眞一余語 利信坂本 渉
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1997 年 117 巻 10 号 p. 488-491

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