電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術
III. ECRスパッタ法を用いたPZT薄膜の形成と評価
大和田 邦樹, 田中 克彦, 久保 竜一
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キーワード: PZT薄膜, ECRスパッタ, ペロブスカイト, 圧電特性, 圧電定数
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1997 年 117 巻 10 号 p. 497-500

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