Patterning Properties of Lead Zirconate Titanate (PZT) Thick Films Made by Aerosol Deposition

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939

Patterning Properties of Lead Zirconate Titanate (PZT) Thick Films Made by Aerosol Deposition

Maxim Lebedev, Jun Akedo

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キーワード: piezoelectric thin film, aerosol deposition method, micro fabrication, structuring, PZT, ultrafine particles

ジャーナルフリー

2000 年 120 巻 12 号 p. 600-601

DOI https://doi.org/10.1541/ieejsmas.120.600

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抄録

Factors responsible for a sidewall formation of thick PZT films prepared by impact based deposition technique were experimentally investigated. An inclination of patterns sidewall is mainly determined by velocity of the impacted particles. For 100μm film obtained by aerosol deposition method a pattern with the sidewall angle 60⁰ was achieved.

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© The Institute of Electrical Engineers of Japan

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