Sticking Prevention of Resonant Strain Sensors

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939

Sticking Prevention of Resonant Strain Sensors

Kyoichi Ikeda, Tetsuya Watanabe, Takashi Yoshida, Shun-ichi Miyazaki, Hideo Tsukamoto, Takahiro Kudoh

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キーワード: sticking, resonator, strain, sensor, micromachine, polysilicon

ジャーナルフリー

2000 年 120 巻 5 号 p. 245-251

DOI https://doi.org/10.1541/ieejsmas.120.245

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抄録

Sticking is a fundamental phenomenon on micromachined devices or tructures. This paper describes about a practical and successful method of prevention for micromachined resonators from sticking and estimation of its sticking resistance based on experimental data.

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© The Institute of Electrical Engineers of Japan

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