抄録
X線平面検出器 (FPD) は，被写体を透過したX線像を電気信号に変換し，画像診断に必要なデジタル画像信号を出力する固体デバイスである．従来の装置からの置き換えも進み，高度化する医療用X線画像診断装置のキーデバイスとして使用されている．
FPDの特長は，大画面で高画質のデジタルX線画像をリアルタイムに出力できることと，そのコンパクトな形状である．これらの特長から，診断能力の向上，装置の小型 · 軽量化による患者への負担の軽減などのメリットがある．
FPDには，より精細な診断画像への要求に応えるためのさらなる高画質化と，被ばく線量の低減のために高いX線量子検出効率が求められている．これら要求性能の達成のため，X線像を電気信号に変換するX線変換膜には微細な構造を持つヨウ化セシウム (CsI) シンチレータ成膜技術が採用されている．
本稿では，東芝電子管デバイス (株) 製のFPDで採用している技術を中心に解説する．
