半導体電荷転送デバイス

安藤 隆男

doi:10.3169/itej1954.27.918

抄録

新しい半導体素子として登場した電荷転送デバイス (CCD) は, 撮像デバイス, アナログ遅延素子, メモリーなどの分野での応用が期待されている.したがって, 短期間の間に動作解析および新しい製作プロセスを含む新しいデバイス構造が次々と提案されている。この報告は, CCDの動作解析理論, プロセス技術, 応用の3つの分野について, その技術的発展を展望したものである.

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