抄録
CCD固体撮像素子について, 2/3インチサイズ素子の設計・プロセス技術で, より小形の1/2インチサイズ素子, および8mmサイズ素子を製作した場合の予想特性を求めた.予想特性を求める方法として, 水平方向について, 光電変換部, 信号転送部等, 1/2インチサイズの素子寸法と同じに作った2/3インチサイズ素子を用いた.その結果, 現用のプロセス技術で実用に耐え得る特性の1/2インチサイズ素子, 8mmサイズ素子が得られることがわかった.その特性を確認するため, 8mmサイズ素子を設計・試作した.素子構成はIT-CCDの特性が確認でき, スミアレベルが小さいFIT-CCD構成を用いた.スミアレベルは従来の固体撮像素子に比べ大幅に低減ができた.また, 解像度等の特性については, 検討用の2/3インチサイズ素子で得た予想特性とほぼ同じ特性が確認できた.
