抄録
呼び水転送部を埋込みチャンネル化した新構成のCPD形固体撮像素子を開発した.開発にあたって, MOS形, CCD形撮像素子の長所, 短所を検討したうえに, 従来の表面チャンネルCPD形撮像素子のノイズの低減, 呼び水転送効率への改善を図るため, 呼び水転送部の埋込みチャンネル化をポテンシャルモデルを用いて解析した.これらの結果をもとに, nチャンネル2層ポリシリコン2層アルミニウムプロセス技術を用いて, 2/3インチのイメージサィズの画素数398 (H) ×496 (V) の埋込みチャンネルCPD形撮像素子を設計試作した.本素子ではブルーミング抑圧のためのオーバフロードレイン構造とスミア低減駆動が可能な構成とを導入した.本論文において, ノイズの低減, 呼び水転送効率の改善などの実験結果および, フレーム蓄積モードとフィールド蓄積モードにおける撮像特性について述べる.
