多層基板構造による高空間分解能磁界プローブ

抄録

プリント回路基板上の配線による近傍磁界を高空間分解能で測定するために、多層基板構造のシールデッドループプロープを開発した。プローブを4層プリント基板で構成し、従来のプローブの同軸線路部分をストリップ線路で置き換えることで、ループ面積及びプローブと配線の間隔を小さくすることができた。空間分解能の評価については、配線上の磁界強度分布を測定することにより検討した。その結果、従来のプローブに比べて空間分解能が2倍以上に向上することが示された。